利用动子线圈中流动的电流方向的交替变化，而产生交替极性变化的电磁场，与定子永磁铁块的S极和N极之间的异性相吸，同性相斥原理，让动子在定子上悬浮地线性运动的马达为线性马达，也称直线电机。理论上定子上永磁铁块可以无限拼接，则动子行程可无限长。采用线性马达构建的可承载的多轴向线性运动机构，成为线性运动系统。主要用两个指标标定它的运动精度，定位精度和重复精度：

定位精度：驱动程序设定动子运动的行程与（光栅尺读头指示的）实际长度之差。它是全行程的精度概念。例如程序设定跑Ls: 60.00mm, 实际上跑了Lt: 59.92mm。那么 :

定位精度α= Ls–Lt= 60.00-59.92= 0.08mm

用百分比表示为：α=(Ls–Lt)/ Ls X 100%=(60.00-59.92)/60= 0.13%

重复精度：驱动程序设定动子运动的行程(到一个指定位置)，两次分别跑到该同一指定位置，光栅尺读头两次指示的数值之差，也称重复定位精度。例如要跑到Ls:60.00mm的指定位置，第一次跑了L1:60.02mm, 第二次是跑了L2：59.97。那么：

重复精度β= L1-L2= 60.02 - 59.97=0.05mm

用百分比表示为β=（L1-L2)/ Ls X 100%=（60.02 - 59.97）/60= 0.08%

通常情况，只有运动系统才用定位精度和重复精度来标定系统或产品的精度，重复定位精度比定位精度一般要高。例如美国TEO品牌LMS-3000系列高精度多轴向线性运动系统平台，定位精度α可达0.1μm；重复定位精度β可达0.01μm。